新拓電器

掃描器行程 : 20x20x1.5µm、100x100x15µm(選配)、150x150x5µm(選配)
掃描參數自動調整 : RealTune(點、線、面)
樣品尺寸 : 35mm直徑、50mm直徑(選配)
光學顯微鏡 : 200倍整合式、200~1500倍縮放式(選配)、200~2800倍金像顯微鏡(選配)
探針偵測方式 : 電阻式自感應探針、雷射光槓桿式(選配)
隔音與防震機制 : 內建式防音罩、桌上型金屬隔音箱附避震腳座(選配)、落地型氣浮防震桌附隔音罩(選配)

 
標準量測 : DFM形貌量測、Phase功能
標準進階量測 : SIS mode、SIS-Phase
粗糙度評價程序 : JISR1683導入
選配 : Contact mode、FFM、MFM、Force curve、KFM、EFM、PRM、SSRM ... 等

 
應用 : 形貌量測用途與經濟型考量,用戶可於未來添購選用配件以升級成 AFM5100N 高階多功能版本
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