主要規格
1. 雙模式探針驅動設計:
A. 壓電驅動 (Piezo-Drive)
B. 新世代光驅動 (IR-Drive)
2. 光槓桿偵測系統 : 新世代 RF-modulated Laser (635nm 波長)
3. 雷射光點大小控制 : 可更換不同聚焦物鏡控制雷射光點大小，以利使用高頻率小型懸臂探針
4. 掃描器行程 : 20x20x1.5µm、100x100x15µm(選配)、150x150x5µm(選配)
5. 樣品尺寸 : 35mm直徑、50mm直徑(選配)
6. 光學顯微鏡 : 200~1500倍縮放式 (無段式1~7倍手動縮放，光學解析度達 1um)
7. 隔音與防震 : 落地型氣浮防震桌 (重達230公斤)
高階金屬隔音罩 (全金屬厚重設計附隔音棉)
8. 新世代成像技術 : SIS mode , SIS-Access , SIS-QuantiMech
量測功能
標準量測 : AFM/DFM形貌量測、Phase功能、MFM、FFM、Force curve
標準進階量測 : SIS mode、SIS-Phase、SIS-Access、SIS-QuantiMech
AFM-SEM 聯用 : AFM Marking 功能具備 AFM-SEM 原位量測定位機制
探針Q控制 : Active Q
選配 : AM-KFM、FM-KFM、EFM、PRM、SSRM、SCM、Conductive-AFM、ElectroChemistry、ViscoElastic ... 等
溫度控制 : RT至250度C(選配)
環境控制 : 氣密式循環控制槽(選配)
液相控制 : RT至60度C(選配)
應用
氣相與液相下超高解析 (Super Resolution) 形貌成像
低雜訊 KFM 表面電位 / PRM 壓電響應 之高品質成像
