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AFM 量測服務
電性量測 [ 電流 / 電位 / 靜電力 / 壓電響應 / 延伸電阻]
電流量測 C-AFM / 壓電響應 PRM
表面電位 KFM / 靜電力 EFM
掃描延伸電阻 SSRM
有別於傳統接觸式 Conductive AFM,接觸式成像方式往往對於軟物質、吸附力弱的結構產生無法預期的探針壓縮、刮痕的問題,而此問題往往造成電訊號延重失真的現像,而 Hitachi 獨家專利的 SIS-Current/SSRM/PRM 跳點式量測,將提供最佳的成像品質與電訊號可信度!
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