特點
1. SIS mode 與各種物性成像模組結合
2. 有效減少形貌效應對於物性數據的干擾，用以增加物性鑑別可信度
3. 提升物性量測安定性
4. 保護探針
適用模組
Conductive AFM、Phase、SSRM、SCM、EFM、PRM、VE、Adhesion .... 等
Conductive AFM、Phase、SSRM、SCM、EFM、PRM、VE、Adhesion .... 等
