Hitachi 將於 ISTFA 2015 發表 AFM 故障分析 Poster Session

2015-09-01

AFM5300E 真空型 AFM 已被驗證對於半導體故障分析的解析度與再現性有著大幅度的提升，特別是在表面電容 (SCM) 與延伸電阻 (SSRM) 上的應用。