新拓電器


表面電流量測 (Conductive AFM)與其他電性功能(KFM/EFM/PRM/EC)
Hitachi AFM 具備多種電流放大器可供選擇,最高電流解析度可至 60 fA,並可搭配 SIS 跳點式成像模式,提升電流成像的安定性與解析度。另外 Hitachi 也提供表面電位(KFM)、壓電響應(PRM)、表面靜電(EFM)...等電性功能提供客戶選擇

 
半導體故障分析 (SCM/SSRM/CAFM)
對於半導體故障分析領域來說,隨著半導體製程元件尺度縮小,傳統 AFM 電性量測的極限也將受到挑戰,Hitachi 除了提供 SCM、SSRM、CAFM 等檢測功能外,更可搭配真空環境 (AFM5300E) 將電性量測解析度提升至 10nm 以下

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