2014-01-01
Hitachi 推出新世代 AFM5000 控制平台
Hitachi 推出最新世代 AFM5000 控制平台，將提供 AFM5100N / AFM5300E / AFM5400L 機種使用，並導入新一代的分析軟體供用戶選擇。
2013-06-01
Hitachi 新世代掃描參數自動優化 RealTune 軟體發表
RealTune 功能將提供掃描參數自動優化的程序，具有點、線、面三種掃描參數優化方式，讓過去傳統 AFM 繁複的掃描參數設定走入歷史，並朝向 AFM 量測一鍵化的未來趨勢大幅躍進。
2013-01-01
日本日立(Hitachi High-Tech)併購日本精工 (SII Nanotechnology Inc.)
2013 年日立 (Hitachi High-Tech) 併購 精工 (SII Nanotechnology Inc.) 分析儀器公司，包括 AFM/SPM、XRF、FIB .... 等儀器設備。
