新拓電器

掃描器行程 : 90x90x6µm、90x90x15µm(選配)
掃描器Closed-loop設計 : 電阻式XYZ三軸
掃描器Z軸正交性 : Accurate Scanner 獨家四分割設計
掃描參數自動調整 : RealTune(點、線、面)
探針取放 : 全電動軟體控制,具備最多5支探針暫存區
樣品尺寸 : 8吋直徑內
樣品載台位移 : 150x150mm軟體電動控制附搖桿
樣品台程式化 : 可儲存10程式、每程式100點自動量測
光學顯微鏡 : 285~1100倍電控聚焦縮放,並具雙CCD觀察視野
探針偵測方式 : 雷射光槓桿式
隔音與防震機制 : 內建式花崗岩氣浮式防震基座與高階一體式隔音罩
 
標準量測 : AFM/DFM形貌量測、Phase功能、MFM、FFM、Force curve、Lithography
標準進階量測 : SIS mode、SIS-Phase
粗糙度評價程序 : JISR1683導入
選配 : KFM、EFM、PRM、SSRM、Conductive-AFM、ElectroChemistry、ViscoElastic  ... 等

 
應用 : 大工件多功能 AFM 平台,適用於半導體、TFT-LCD、LED、Microlens ... 等工業自動化檢測
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